一般可區(qū)分為大宗氣體和特殊氣體，其中大宗氣體通常是以室外的大型氣站或槽車(chē)供應(yīng)為主；而特殊氣體的部分由于其特性包含易燃性、腐蝕性及毒性等，如果發(fā)生泄露可能釀成災(zāi)禍，因此需要特別注意。

　　1、半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路之可燃?xì)怏w：

　　在實(shí)驗(yàn)室中，可以提供熱源的氣體一般是：天然氣、煤氣、液化氣等，使用這種燃?xì)庵饕褪怯糜谠嚇尤廴诜纸夂鸵恍┎Ａ髅笾圃欤材苡迷诿簹馍吃?。它的使用?chǎng)所一般是在試驗(yàn)臺(tái)或者實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)柜中，但是在試驗(yàn)臺(tái)上使用，要保證臺(tái)面耐高溫和設(shè)計(jì)原子吸收或其他排氣裝置，同樣也具有耐高溫的性能。以上可燃?xì)怏w都具有高危險(xiǎn)性，進(jìn)行氣體管路的設(shè)計(jì)和安裝時(shí)要達(dá)到國(guó)家的要求標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)規(guī)范，非專(zhuān)業(yè)工程師不得隨意改動(dòng)和安裝，以免氣體泄漏，造成事故的發(fā)生。

　　2、半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路之高純氣體：

　　常規(guī)咱們?cè)趯?shí)驗(yàn)室中接觸到的高純氣體有：氧氣、氮?dú)狻鍤?、空氣、氮?dú)獾?，這些高純氣體等級(jí)有所不同，也意味著他們的純度不同，可根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求或者儀器要求來(lái)先擇適合的純度級(jí)別。它們均存放在高壓氣瓶當(dāng)中，使用時(shí)要進(jìn)行機(jī)械減壓，才能達(dá)到實(shí)驗(yàn)所需的壓力值。像乙炔、乙烷、氫氣等都是易燃易爆氣體，一旦泄露對(duì)人體和環(huán)境有危害，所以對(duì)氣瓶的存放有嚴(yán)格要求，必須有獨(dú)立的存放空間，不得和助燃?xì)怏w混放、遠(yuǎn)離火源等。當(dāng)然在使用任何氣體時(shí)，都需要輕拿輕放，因?yàn)闅馄恐袎毫艽?，如果不小心磕碰，隨時(shí)都會(huì)造成危險(xiǎn)。投放使用之前檢查好鋼瓶的外觀是否有皮損、嚴(yán)重銹跡、閥門(mén)是否有泄露，出氣口是否有灰塵雜質(zhì)，出口頭墊片是否老化，必要時(shí)要做好清理和更換。